华卓精科产业园
物业类型: | 高新技术研发园区、写字楼 |
建筑面积: | 3万平方米 |
主要设备: | 中央空调、供暖锅炉、消防监控室、配电室等 |
功能定位: | 办公、研发、生产、半导体高新技术等 |
北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日,主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件,主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线,并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。